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湖南去离子超纯水的制备技术与工艺流程
去离子超纯水(Deionized Ultrapure Water, DIUPW)是指通过物理、化学或电化学方法去除水中几乎所有离子、有机物、颗粒物和微生物的高纯度水,其电阻率通常≥18.2 MΩ·cm(25℃),总有机碳(TOC)含量低于5 ppb,广泛应用于半导体、医药、实验室和分析化学等领域。以下是其制备的核心技术与详细工艺流程:
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一、原水预处理
去离子超纯水的制备需以市政自来水或地下水为原水,首先通过预处理去除大颗粒杂质和部分溶解物:
1. 多级过滤
- 砂滤:去除悬浮物、泥沙,采用湖南石英砂或无烟煤滤料。
- 湖南活性炭吸附:吸附余氯、有机物和异味,保护后续树脂和膜材料。
- 精密过滤:1~5 μm滤芯截留微小颗粒,防止堵塞反渗透膜。
2. 软化处理
通过钠型阳离子交换树脂置换Ca2?、Mg2?等硬度离子,防止反渗透膜结垢。
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二、核心纯化阶段
1. 反渗透(RO)脱盐
- 高压(10~15 bar)迫使水通过半透膜,去除90%~99%的离子、有机物和微生物。
- 产水电阻率约0.05~0.5 MΩ·cm,需配合阻垢剂和pH调节以优化效率。
2. 电去离子(EDI)技术
- 结合离子交换树脂和选择性离子膜,在直流电场作用下实现连续去离子:
- 阳离子(Na?、Ca2?)向阴极迁移并通过阳膜排出;
- 阴离子(Cl?、SO?2?)向阳极迁移并通过阴膜排出。
- 产水电阻率可达5~15 MΩ·cm,无需化学再生,环保高效。
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三、深度纯化与终端处理
1. 混床离子交换
- 填充氢型阳树脂和羟型阴树脂,进一步去除残余离子,使电阻率接近18.2 MΩ·cm。
- 需定期酸碱再生(适用于非EDI系统)。
2. 超滤(UF)与紫外线氧化
- 0.1~0.01 μm超滤膜:截留胶体、细菌和病毒。
- 185 nm紫外灯:分解TOC为CO?和H?O,降低有机物含量。
- 254 nm紫外灯:杀菌,防止微生物滋生。
3. 终端精滤
采用0.22 μm或0.1 μm除菌滤芯,确保无颗粒和微生物污染。
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四、系统设计与质量控制
1. 循环管路
- 采用316L不锈钢或PVDF材质,避免溶出离子。
- 设计闭环循环系统,防止水质劣化。
2. 在线监测
- 电阻率仪:实时监测水质(18.2 MΩ·cm为理论极限)。
- TOC分析仪:控制有机物含量(<5 ppb)。
- 颗粒计数器:监控≥0.1 μm颗粒物。
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五、应用与注意事项
- 半导体行业:清洗晶圆时需控制硼、硅等痕量元素。
- 制药行业:符合USP、EP和CP药典标准,确保无菌无热原。
- 维护要点:定期更换滤芯、清洗RO膜、校准传感器,避免系统污染。
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总结
去离子超纯水的制备是多重技术集成的过程,需根据原水水质和目标纯度选择工艺组合。现代系统趋向模块化设计,结合RO-EDI-UV等技术,实现高效、低耗的连续生产,满足高端领域对超纯水的严苛需求。
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